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微波功率器件的扇形线测试电路
引用本文:罗卫军,陈晓娟,梁晓新,马晓琳,刘新宇,王晓亮.微波功率器件的扇形线测试电路[J].半导体学报,2006,27(9).
作者姓名:罗卫军  陈晓娟  梁晓新  马晓琳  刘新宇  王晓亮
作者单位:1. 中国科学院半导体研究所,北京,100083;中国科学院微电子研究所,北京,100029
2. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
3. 中国科学院半导体研究所,北京,100083
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划),中国科学院基金
摘    要:在微波电路原理和半导体器件物理的基础上,设计和模拟了两种用于微波功率器件的测试电路,并且设计了与之配套的测试夹具.采用矢量网络分析仪对该测试电路和夹具在3~8GHz范围内进行了小信号测试.模拟和测试结果都表明,采用扇形线的测试电路性能较好.最后采用该电路和夹具对C波段AlGaN/GaN HEMT微波功率器件进行了微波功率测试,测试频率为5.4GHz.实验测得最大功率增益为8.75dB,最大输出功率为33.2dBm.

关 键 词:扇形线  测试电路  氮化镓  高电子迁移率晶体管

A Radial Stub Test Circuit for Microwave Power Devices
Luo Weijun,Chen Xiaojuan,Liang Xiaoxin,Ma Xiaolin,Liu Xinyu,Wang Xiaoliang.A Radial Stub Test Circuit for Microwave Power Devices[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(9).
Authors:Luo Weijun  Chen Xiaojuan  Liang Xiaoxin  Ma Xiaolin  Liu Xinyu  Wang Xiaoliang
Abstract:With the principles of microwave circuits and semiconductor device physics, two microwave power device test circuits combined with a test fixture are designed and simulated, whose properties are evaluated by a parameter network analyzer within the frequency range from 3 to 8GHz. The simulation and experimental results verify that the test circuit with a radial stub is better than that without. As an example, a C-band AlGaN/GaN HEMT microwave power device is tested with the designed circuit and fixture. With a 5.4GHz microwave input signal, the maximum gain is 8.75dB, and the maximum output power is 33.2dBm.
Keywords:radial stub  test circuit  GaN  HEMT
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