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HCMOS器件的γ辐射效应
引用本文:楼滨乔,薛志华.HCMOS器件的γ辐射效应[J].北京大学学报(自然科学版),1991,27(3):378-384.
作者姓名:楼滨乔  薛志华
作者单位:北京大学技术物理学系 (楼滨乔,薛志华),北京大学技术物理学系(刘美丽)
摘    要:本文介绍HCMOS器件的γ辐射损伤和退火效应的结果。HCMOS器件的静态功耗电流和动态特性对剂量十分灵敏,它们的退火效应也很明显。

关 键 词:HCMOS器件  γ辐射效应  退火效应
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