采用汽化样品引入法的ICP-AES,快速获得数据系统

ICP-AES很适于各式各样材料的分析,因为它具有很高的样品承受能力、很宽的动态线性范围和很好的灵敏度。但是,传统的采用雾化器的样品引入技术(常被称为“最薄弱环节”)往往会大大地降低灵敏度而限制该系统的性能。某些组分有优先雾化现象因而会使分析结果不准确。另外,在许多情况下,由于化合物的挥发性、毒性和可燃性又会使取样发生困难。本文叙述用VFS快速获得数据系统和ICP作水溶液和半导体材料分析的情况。半导体工业已越来越要求对制造过程所用材料中越来越低的杂质水平加以表征。VFS是一种可作瞬时信号测量和专门数据处理和报告的硬件/软件系统。由于不用雾化器而采用了全新的样品引入技术,方法的灵敏度和分析性能都得到了改善。系统可以每秒钟积分6次的速率对最多60种元素作同时测量。