| 磷锗锌单晶体的腐蚀研究 |
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| 引用本文： | 张羽,赵北君,朱世富,陈宝军,何知宇,孙永强,程江,梁栋程.磷锗锌单晶体的腐蚀研究[J].人工晶体学报,2010,39(2):304-307. |
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| 作者姓名： | 张羽 赵北君 朱世富 陈宝军 何知宇 孙永强 程江 梁栋程 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学系,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 报道了一种新的ZnGeP2晶体择优腐蚀剂及其腐蚀工艺,即先采用研磨、物理机械抛光和HCl+HNO3热化学抛光获得表面平整无划痕的ZnGeP2晶片,然后将晶片在室温下采用HF(40;):HNO3(65;):CH3COOH(99.5;):H2O:I2=2 mL:2 mL:1 mL:1 mL:4 mg腐蚀剂超声振荡腐蚀8 min;在扫描电镜下观察到ZGP(110)和(204)晶面的腐蚀坑,蚀坑形貌清晰,具有立体感,(110)晶面蚀坑呈四边形,(204)晶面蚀坑呈五边形,取向一致,蚀坑密度(EPD)约为104/cm2.从理论上对蚀坑形貌的形成机理进行了分析.
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| 关 键 词： | ZnGeP2晶体 化学腐蚀 蚀坑形貌 |
Study on Etching of ZnGeP_2 Single Crystals |
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| ZHANG Yu,ZHAO Bei-jun,ZHU Shi-fu,CHEN Bao-jun,HE Zhi-yu,SUN Yong-qiang,CHENG Jiang,LIANG Dong-cheng.Study on Etching of ZnGeP_2 Single Crystals[J].Journal of Synthetic Crystals,2010,39(2):304-307. |
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| Authors: | ZHANG Yu ZHAO Bei-jun ZHU Shi-fu CHEN Bao-jun HE Zhi-yu SUN Yong-qiang CHENG Jiang LIANG Dong-cheng |
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| Institution: | ZHANG Yu,ZHAO Bei-jun,ZHU Shi-fu,CHEN Bao-jun,HE Zhi-yu,SUN Yong-qiang,CHENG Jiang,LIANG Dong-cheng(Department of Material Science,Sichuan University,Chengdu 610064,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnGeP2 crystal chemical etching etch morphology |
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