| SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制 |
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| 引用本文： | 高怀林,王乃彦,王东蕾,王永.SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制[J].中国物理 C,2007,31(4):405-408. |
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| 作者姓名： | 高怀林 王乃彦 王东蕾 王永 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院电子学研究所,北京100080 [2]中国原子能科学研究院,北京102413 |
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| 摘 要： | 利用“电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术”、“HfO2/SiO2+Al2O3/SiO2+M-SiO2”复合光学膜系设计技术、400°C4h高温处理技术, 研制的SR-FEL宽带腔镜光学膜系在355nm中心波长的绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99.45%, 反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99.00%)=75nm; 研制的355nm/248nm双带腔镜光学膜系, 在355nm中心波长, 其绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99.69%, 反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99.00%)=59nm; 在248nm中心波长, R(248nm)=98.21%, 绝对光学反射率光谱带宽测量值Δλ(R≥99.00)=9mm,
Δλ(R≥98.00%)=33nm.
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| 关 键 词： | 储存环自由电子激光 腔镜光学膜系 电子束蒸发沉积 离子束溅射沉积 |
| 收稿时间： | 2006-8-8 |
| 修稿时间： | 2006-08-08 |
Development of the Broadband and Dual-band Cavity Mirrors for SR-FEL at 355nm and 248nm |
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| GAO Huai-Lin,WANG Nai-Yan,WANG Dong-Lei,WANG Yong.Development of the Broadband and Dual-band Cavity Mirrors for SR-FEL at 355nm and 248nm[J].High Energy Physics and Nuclear Physics,2007,31(4):405-408. |
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| Authors: | GAO Huai-Lin WANG Nai-Yan WANG Dong-Lei WANG Yong |
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| Institution: | 1Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China;2China Institute of Atomic Energy, Beijing 102413,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | storage-ring free-electron laser cavity mirror coatings electron-beam evaporation deposition ion-beam sputter deposition |
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