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| 一种新型的整体式镓离子源的研制 | |
| 引用本文： | 陈春华,王纯,张立宝,马祥彬,李金荣.一种新型的整体式镓离子源的研制[J].半导体学报,1984,5(5):550-553. |
| 作者姓名： | 陈春华 王纯 张立宝 马祥彬 李金荣 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 (陈春华，王纯，张立宝，马祥彬)，中国科学院半导体研究所(李金荣) |
| 摘 要： | 本文叙述了一种比较新颖的整体式液体镓离子源的制备工艺及挂镓方法;测量了在不同温度下的电流-电压关系;以及在特定电压下,电流随时间的缓慢变化;对于针尖的几何形状,即顶点处的曲率半径对电流-电压关系的影响,用两种典型的针尖作了比较;试验还表明,这种源结构比较简单,容易实现和掌握,其寿命可达110小时以上. |
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