基于机器人的太赫兹层析成像系统 |
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引用本文: | 娄季琛,张岩.基于机器人的太赫兹层析成像系统[J].光学与光电技术,2022(4):83-88. |
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作者姓名: | 娄季琛 张岩 |
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作者单位: | 首都师范大学物理系超材料与器件北京市重点实验室太赫兹光电子学教育部重点实验室北京市成像理论与技术创新中心 |
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基金项目: | 科技部国家重点研发计划(2019YFC17119)资助项目; |
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摘 要: | 为克服传统太赫兹层析成像技术仅能应用于平面样品检测的局限性,将工业机器人与太赫兹时域光谱系统集成,搭建了基于机器人的太赫兹层析成像系统。利用机器人图形化离线编程技术规划扫描路径,保证太赫兹信号垂直入射到样品表面并获取最大的反射信号。采用基于迭代收缩的反卷积滤波算法对太赫兹时域信号进行处理,提升了系统的时间分辨能力。选取形状为曲面的橡胶材料作为样品,通过主成分分析法计算得到样品表面各采样点的法向量,并结合飞行时间成像技术对样品表面及内部结构进行了三维重建,验证了系统的可行性。
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关 键 词: | 太赫兹时域光谱 层析成像 机器人 反卷积算法 三维重构 |
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