超声振动打孔对微晶玻璃表面质量的影响 |
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作者姓名: | 刘军汉 熊长新 周杨 刘彦清 |
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作者单位: | 华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心 |
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摘 要: | 在超声振动打孔时,微晶玻璃最大切深决定了孔壁表面质量。基于脆性断裂材料去除机理,建立了简单实用的超声打孔材料去除率理论关系式,得出影响表面质量的主要工艺参数为:金刚石粒径、刀具转速和进给速度。通过正交实验方法,得到了微晶玻璃超声打孔的最佳工艺参数,金刚石粒径650#、刀具转速12 000 rpm和进给速度5 mm/min。通过工艺参数优化后,微晶玻璃打孔质量得到明显提升,孔壁经过化学抛光处理后,表面粗糙度Ra达到0.055 1μm,能有效提升激光陀螺腔体的真空特性和激光陀螺的性能。
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关 键 词: | 超声振动 微晶玻璃 最大切深 表面粗糙度 表面质量 |
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