| 薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟 |
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| 引用本文： | 杨宁,陈光华,张阳,公维宾,朱鹤孙.薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟[J].物理学报,2000,49(11):2225-2229. |
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| 作者姓名： | 杨宁 陈光华 张阳 公维宾 朱鹤孙 |
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| 作者单位： | (1)北京工业大学材料科学与工程学院，北京 100022; (2)北京理工大学材料科学研究中心，北京 100081 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：69876003和19874007)及北京市自然科学基金(批准号：2982013)资助的课题. |
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| 摘 要： | 用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维生长.引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况，研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响.薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜4个阶段.模拟结果表明，随着沉积粒子数的增加，成团粒子所占百分比下降.这与实际情况相符.
关键词：
薄膜生长
Monte Carlo方法
Morse势
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| 关 键 词： | 薄膜生长 Monte Carlo方法 Morse势 |
| 收稿时间： | 2000-04-21 |
| 修稿时间： | 2000-04-21 |
MONTE CARLO SIMULATION OF THIN FILMS GROWTH |
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| YANG NING,CHEN GUAN-GHUA,ZHANG YANG,GONG WEI-BIN,ZHU HE-SUN.MONTE CARLO SIMULATION OF THIN FILMS GROWTH[J].Acta Physica Sinica,2000,49(11):2225-2229. |
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| Authors: | YANG NING CHEN GUAN-GHUA ZHANG YANG GONG WEI-BIN ZHU HE-SUN |
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| Abstract: | Two-dimensional growth of thin films is simulated using the Monte Carlo method.The effect of the interaction between particles on the morphology of the films at the preliminary stage has been investigated using Morse potential.The growth of films consists of four stages,including formation of critical nucleus,growth of clusters,formation of maze structure and appearance of continuous film.The simulated results indicate that the percentage of particles,with monomers being not included,decreases with the increase of the number of adatoms,which is in agreement with the actual conditions. |
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| Keywords: | thin film growth Monte Carlo method Morse potential |
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