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厚膜气体敏感元件的研制
引用本文:
黄津梨,邓希敏.厚膜气体敏感元件的研制[J].广西师范大学学报(自然科学版),1996,14(3):52-55.
作者姓名:
黄津梨
邓希敏
摘 要:
采用丝网印刷技术制作了厚膜气体敏感元件,测试了其气敏特性,发现元件对乙醇和氢气具有较好的灵敏度和选择性,对元件的加热器特性和气敏特性的一致性进行了研究,在控制好印刷浆料的稀稠度,印刷工艺后,结果很好。
关 键 词:
气敏元件
厚膜
乙醇
氧化物半导体
氢气
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