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| MEMS材料的微米尺度力学性能试验 | |
| 作者姓名： | 施绍裘 王礼立 |
| 摘 要： | 以多晶硅薄膜为例综述MEMS材料力学性能测试的基本方法：压痕法,悬臂梁法 ,膜压力膨胀试验法及拉伸试验法,比较讨论了各自的优缺点,并介绍了该领域的最新进展。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 力学性能 微米尺度 多晶硅薄膜 MEMS材料 压痕法 悬臂梁法 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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