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| 高频溅射法制备Bi—Sr—Ca—Cu—O超导薄膜 | |
| 引用本文： | 刘卫,王继红.高频溅射法制备Bi—Sr—Ca—Cu—O超导薄膜[J].低温物理学报,1989,11(6):464-469. |
| 作者姓名： | 刘卫 王继红 |
| 作者单位： | 中国科技大学应用化学系 合肥 (刘卫，王继红，杨治平，何友昭，赵化桥，陈祖耀，钱逸泰)，中国科技大学物理系 合肥 (张民健，张涛)，中国科技大学物理系 合肥(张其瑞) |
| 摘 要： | 以单晶 YSZ、YAG 为衬底,用高频溅射法制备了 Bi-Sr-Ca-Cu-O 超导薄膜,膜厚为0.5—1μm,其中两个样品的超导性能为 T_c(onset)=92K,T_c(mid)=78K,T_(ce)=42K 和T_c(onset)=95K,T_c(mid)=78K,T_(ce)=36.5K,经分析,后者的组成近似地为Bi_2Sr_2Ca_1Cu_2O_x.对靶组分、溅射和热处理条件与生成的膜成分、物相、形貌以及超导电性的关系做了讨论. |
| 关 键 词： | 高频溅射法 氧化物 超导薄膜 铋 锶 |
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