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| 精密度盘的照相复制新装置 | |
| 作者姓名： | 徐森录 |
| 摘 要： | <正> 国内多数单位在照相复制度盘时,工件与母板用弹簧夹紧,然后放在旋转台上,在6千瓦氙灯下曝光。我们认为这一工艺有以下缺点: 1.弹簧夹紧会导致一定的机械变形。2.氙灯产生大量的热(强红外辐射)会使红矾分解而引起虫胶热固化(俗称“灰雾”)。这样减少了曝光和显影宽容度,又引起了工件与母板不均匀的热变形。为了达到均匀曝光,我们改用了一种可旋转紫外曝光装置,曝光过程中工件与母板不动,而光源旋转,工件依靠重力自然与母板接触。实践证明,新工艺复制精度可达1″。下面将该装置作一简单介绍: |
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