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脉冲激光淀积高温超导薄膜
引用本文:周岳亮.脉冲激光淀积高温超导薄膜[J].物理,1998,27(3):167-173.
作者姓名:周岳亮
作者单位:中国科学院物理研究所光物理实验室
基金项目:国家超导中心“863”资助
摘    要:1987年贝耳实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以后,脉冲激光淀积技术获得了长足的发展,现在已成为最好的薄膜制备技术之一.文章简要介绍了用脉冲激光淀积技术制备高温超导薄膜的原理、特点及发展情况.

关 键 词:激光淀积,高温超导,薄膜
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