脉冲激光淀积高温超导薄膜 |
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引用本文: | 周岳亮.脉冲激光淀积高温超导薄膜[J].物理,1998,27(3):167-173. |
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作者姓名: | 周岳亮 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所光物理实验室 |
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基金项目: | 国家超导中心“863”资助 |
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摘 要: | 1987年贝耳实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以后,脉冲激光淀积技术获得了长足的发展,现在已成为最好的薄膜制备技术之一.文章简要介绍了用脉冲激光淀积技术制备高温超导薄膜的原理、特点及发展情况.
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关 键 词: | 激光淀积,高温超导,薄膜 |
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