| 用于ICF实验的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶 |
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| 引用本文： | 周斌 张玉龙. 用于ICF实验的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶[J]. 物理, 1998, 27(11): 687-690 |
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| 作者姓名： | 周斌 张玉龙 |
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| 作者单位： | 同济大学波耳固体物理研究所，同济大学化学系 |
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| 摘 要： | 以掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备为主，介绍通过激光干涉法结合图形转移工艺获得具有正弦起伏图形的掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的工艺．对表面调制起伏图形的精确转移进行研究，以ＳＥＭ和台阶仪监控图形转移过程，控制耦合在调制图形上的表面粗糙度．
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| 关 键 词： | 平面调制靶，掺溴聚苯乙烯，制靶技术，图形转移工艺 |
SURFACE PERTURBATION TARGET FOR THE RAYLEIGH |
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| Zhou Bin Wang Jue Shen Jun Deng Zhongsheng Du Baoqi Lai Zhenquan Chen Lingyan. SURFACE PERTURBATION TARGET FOR THE RAYLEIGH[J]. Physics, 1998, 27(11): 687-690 |
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| Authors: | Zhou Bin Wang Jue Shen Jun Deng Zhongsheng Du Baoqi Lai Zhenquan Chen Lingyan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface perturbation target brominated polystyrene target fabrication technology figure-transfer process |
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