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溅射沉积涂层柱晶间显微疏松研究

引用本文：	周浪,章守华.溅射沉积涂层柱晶间显微疏松研究[J].薄膜科学与技术,1990,3(3):28-32.

作者姓名：	周浪章守华

摘要：
关键词：	溅射沉积涂层显微疏松柱晶间
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