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空心阴极多层离子镀电子枪—坩埚系统的设计

引用本文：	钱三德.空心阴极多层离子镀电子枪—坩埚系统的设计[J].薄膜科学与技术,1990,3(1):71-74.

作者姓名：	钱三德

摘要：
关键词：	空心阴极离子镀电子枪坩埚
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