| ZnS晶体的化学气相沉积生长 |
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| 引用本文： | 杨曜源,李卫,张力强,蔡以超,王向阳,肖红涛,田鸿昌,东艳萍,方珍意,郝永亮.ZnS晶体的化学气相沉积生长[J].人工晶体学报,2004,33(1):92-95. |
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| 作者姓名： | 杨曜源 李卫 张力强 蔡以超 王向阳 肖红涛 田鸿昌 东艳萍 方珍意 郝永亮 |
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| 作者单位： | 人工晶体研究院,北京,100018 |
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| 摘 要： | 本文报道了用化学气相沉积(CVD)法生长ZnS透明多晶体的实验结果,对生长的晶体的物理化学性能进行了测试,讨论了化学气相沉积工艺中影响ZnS晶体质量的因素.结果表明:选用固体硫作原料,用化学气相沉积方法,可以沉积出透明ZnS多晶体;它的透过性能极其优异,在6.2μm处无吸收峰,在中、长波红外透过率可达70;以上.
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| 关 键 词： | 化学气相沉积法 硫化锌 红外材料 |
| 文章编号： | 1000-985X(2004)01-0092-04 |
Growth of ZnS Crystals by CVD Technique |
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| YANG Yao-yuan,LI Wei,ZHANG Li-qiang,CAI Yi-chao,WANG Xiang-yang,XIAO Hong-tao,TIAN Hong-chang,DONG Yan-ping,FANG Zhen-yi,HAO Yong-liang.Growth of ZnS Crystals by CVD Technique[J].Journal of Synthetic Crystals,2004,33(1):92-95. |
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| Authors: | YANG Yao-yuan LI Wei ZHANG Li-qiang CAI Yi-chao WANG Xiang-yang XIAO Hong-tao TIAN Hong-chang DONG Yan-ping FANG Zhen-yi HAO Yong-liang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | chemical vapor deposition (CVD) zinc sulfide (ZnS) infrared material |
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