法布里-珀罗干涉标准具的研制

法布里-珀罗干涉标准具的制作,是一项技术要求较高、困难较大的加工工艺,国内介绍很少。本文较详细的介绍了加工的全过程。在标准平板的加工与测试中,提出了用石墨作填料的薄型抛光膜,对多光束干涉进行了研究试验,并开始了实际应用;在隔圈加工中,提出了在玻璃平板上抛光的方法和测试方法;整体的检验,应用了测量激光等倾干涉环级次变化的方法和激光点光源法。初步解决了中等精度法布里-珀罗干涉标准具的加工工艺和检测方法。