| 白光干涉的谱分析及其数据处理 |
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| 引用本文： | 常久伟,徐菌,史庆军.白光干涉的谱分析及其数据处理[J].应用光学,2001,22(6):28-30. |
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| 作者姓名： | 常久伟 徐菌 史庆军 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,辽宁大连,116023
2. 佳木斯大学,黑龙江佳木斯,154007 |
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| 摘 要： | 通过白挑干涉谱，计算出生长在GaAs衬底上的氮化镓薄膜厚度。重点介绍干涉谱包含的信息及数据分析方法。
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| 关 键 词： | 干涉谱 薄膜 数据分析 氮化镓 GaN 白光干涉 厚度 |
| 文章编号： | 1002-2082(2001)06-0028-03 |
| 收稿时间： | 2001/5/21 |
THE ANALYSIS OF WHITE LIGHT INTERFERENCE PATTERN AND DATA PROCESSING |
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| CHANG Jiu-wei ,XU Yin ,SHI Qing-jun.THE ANALYSIS OF WHITE LIGHT INTERFERENCE PATTERN AND DATA PROCESSING[J].Journal of Applied Optics,2001,22(6):28-30. |
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| Authors: | CHANG Jiu-wei XU Yin SHI Qing-jun |
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| Institution: | CHANG Jiu-wei 1,XU Yin 1,SHI Qing-jun 2 |
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| Abstract: | The thickness of GaN films grown on GaAs substrate are calculated,through analyzing the white-light interference pattern in this paper.The information of the interference pattern and the way of data processing are discussed in details. |
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| Keywords: | Interference pattern film data processing |
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