厚膜力敏传感器及其应用 |
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引用本文: | 马以武,常慧敏.厚膜力敏传感器及其应用[J].电子元器件应用,2000,2(9):14-17,24. |
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作者姓名: | 马以武 常慧敏 |
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作者单位: | [1]中国科学院合肥智能机械研究所 [2]传感技术国家重点实验室 |
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摘 要: | 本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外10多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。探讨了加快我国厚膜力敏传感器技术创新和产业化的若干问题及建议。
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关 键 词: | 厚膜 力敏传感器 工作原理 |
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