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用高纯氧热氧化制作铅薄膜隧道结工艺的研究

作者姓名：	孟小凡李波包克勤

作者单位：	北京大学物理系(孟小凡，李波)，北京大学物理系(包克勤)

摘要：	本文主要介绍用高纯氧热氧化制作铅约瑟夫逊隧道结的方法以及一些实验结果.用这种方法可以制作高质量的隧道结,结的成品率较高,临界电流的一致性和重复性较好.本文还介绍了某些检验隧道结氧化层质量的方法.
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