| 微光机电系统的微绞链研制 |
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| 引用本文： | 赵小林,杨春生.微光机电系统的微绞链研制[J].微细加工技术,1998(2):67-72. |
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| 作者姓名： | 赵小林 杨春生 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心 |
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| 摘 要： | 本文讨论了非硅微机械工艺和微绞链的研制工艺。我们研制的非硅表面微机械工艺采用两次或三次掩模电镀层，聚酰亚胺和光刻胶分别作为底层和第二、第三层的牺牲层。用这套工艺，研制成功了三种不同种类的微绞链。微绞链能在基片表面作０—１８０度自由转动。
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| 关 键 词： | 微光机电系统（MOEMS） 微机械 掩模电镀 微绞链 |
A STUDY OF MICRO HINGES FOR MICRO OPTO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS |
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| Zhao Xiao lin,Yang Chunsheng,Cai Bingchu.A STUDY OF MICRO HINGES FOR MICRO OPTO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS[J].Microfabrication Technology,1998(2):67-72. |
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| Authors: | Zhao Xiao lin Yang Chunsheng Cai Bingchu |
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| Keywords: | MOEMS micro machine mask plating micro hinge |
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