| CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌 |
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| 引用本文： | 田珂,施媛媛,徐小秋,钟声,傅竹西. CVD法制备ZnO薄膜生长取向和表面形貌[J]. 发光学报, 2008, 29(2): 294-298 |
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| 作者姓名： | 田珂 施媛媛 徐小秋 钟声 傅竹西 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026 |
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| 摘 要： | 利用具有特定温度梯度的CVD设备,以锌粉和氧气为原料,在Si(100)衬底上制备了ZnO薄膜。研究发现,锌粉中加入某些氯化物后可以改变ZnO薄膜的生长取向。用FESEM观察ZnO薄膜的表面形貌,发现Zn和氯化物的量比为1∶1时,生长的ZnO薄膜表面晶粒呈菱形或三角形({101}面),当二者的量比为10∶1时薄膜表面晶粒呈六棱台形({001}面)。XRD分析结果证实,前者只观察到(101)和(202)衍射峰,而后者出现(002)衍射峰且其强度大于(101)衍射峰。改变衬底或温度后得到的结果相同。因此,作者认为氯化物改变薄膜生长取向的现象与衬底和生长温度无关,添加的氯化物起到降低ZnO{101}面表面能的作用,随着氯化物浓度的增加,薄膜从沿[001]方向生长逐渐转向沿[101]方向生长。
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| 关 键 词： | CVD ZnO薄膜 生长取向 生长机理 |
| 文章编号： | 1000-7032(2008)02-0294-05 |
| 修稿时间： | 2007-10-25 |
The Investigation of Growth Orientations of ZnO Films by CVD |
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| TIAN Ke,SHI Yuan-yuan,XU Xiao-qiu,ZHONG Sheng,FU Zhu-xi. The Investigation of Growth Orientations of ZnO Films by CVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2008, 29(2): 294-298 |
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| Authors: | TIAN Ke SHI Yuan-yuan XU Xiao-qiu ZHONG Sheng FU Zhu-xi |
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| Keywords: | CVD ZnO films growth direction growth mechanics |
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