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| 一种物理气相沉积涂层装置 | |
| 引用本文： | 张学华.一种物理气相沉积涂层装置[J].物理,1988(11). |
| 作者姓名： | 张学华 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 摘 要： | 科学技术的发展已允许人们在物件表面上覆盖一至数层另一些材料的薄层,从而显著改善它们的性能以满足各种使用要求.物理气相沉积(PVD)涂层是有效方法之一.例如,切削刀具无论是高速钢的还是硬质合金的,经过TiN,Ti(NC),Al2O3等超硬涂层处理后,其表面硬度分别由原来 6GPa和 17GPa提高到20GPa和30GPa 以上,甚至可达到50GPa;减小摩擦系数,降低切削力使切削速度大幅度增加到 200m/min,效率提高 30%以上,耐用寿命延长 2-10倍,净节省费用 40%,节约能耗35%.一个中等机械厂年刀具消耗费通常为30—50万元,因此国外机械加工工具都朝上述方向发展… |
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