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| PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制 | |
| 引用本文： | 夏冬林,刘梅冬,曾亦可,陈实,赵修建.PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制[J].压电与声光,2004,26(3):196-199. |
| 作者姓名： | 夏冬林 刘梅冬 曾亦可 陈实 赵修建 |
| 作者单位： | 1. 武汉理工大学,硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070;华中科技大学,电子科学与技术系,武汉,430074 2. 华中科技大学,电子科学与技术系,武汉,430074 3. 武汉理工大学,硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070 |
| 摘 要： | 对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。 |
| 关 键 词： | 锆钛酸铅（PZT） 铁电厚膜 铁电声纳换能器 湿法化学刻蚀 |
| 文章编号： | 1004-2474(2004)03-0196-04 |
| 修稿时间： | 2003年1月17日 |
Study of the Structure Designment and Etching Micropattern of PZT Thick Film Ferroelectric Sonar Transducer |
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| XIA Dong-lin.Study of the Structure Designment and Etching Micropattern of PZT Thick Film Ferroelectric Sonar Transducer[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2004,26(3):196-199. | |
| Authors: | XIA Dong-lin |
| Institution: | XIA Dong-lin~ |
| Abstract: | |
| Keywords: | lead zirconate titanate (PZT) ferroelectric thick film ferroelectric sonar transducer wet chemical etching |
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