| 自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究 |
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| 引用本文： | 伍和云,吴永刚,王振华,吕刚,凌磊婕,夏子奂,陈乃波.自支撑Zr膜制备及软X射线透过性能研究[J].光子学报,2011,40(1). |
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| 作者姓名： | 伍和云 吴永刚 王振华 吕刚 凌磊婕 夏子奂 陈乃波 |
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| 作者单位： | 同济大学,物理系,上海,200092 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市基础重点研究课题 |
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| 摘 要： | 软X射线波段滤光膜材料大都为自支撑金属薄膜,实验室环境下自支撑薄膜长期与空气接触表面易氧化,空气中的杂质原子进入自支撑薄膜内部,致使自支撑膜光学性能大幅下降.5 nm至20 nm软X射线波段Zr具有较低的质量吸收系数和较小的密度,在该波段Zr滤光膜透过率较高.采用脱模剂法制备自支撑Zr膜,在洁净的浮法玻璃上蒸镀一层NaCl做为脱膜剂,直流磁控溅射沉积Zr膜,脱膜后的到自支撑Zr膜.为防止薄膜表面氧化及空气中杂质原子进入薄膜内部,在Zr膜两面各直流磁控溅射沉积一层10 nm厚的C或Si膜作为保护膜,得到C/Zr/C、Si/Zr/Si复合膜,测试结果显示C或Si膜的引入对于自支撑Zr膜光学性能基本无影响.
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| 关 键 词： | 自支撑薄膜 软X射线 脱模剂 磁控溅射 同步辐射 |
Preparation and Research on Self-supported Zr Filter for Soft-X-ray |
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| WU He-yun,WU Yong-gang,WANG Zhen-hua,LU Gang,LING Lei-jie,XIA Zi-huan,CHEN Nai-bo.Preparation and Research on Self-supported Zr Filter for Soft-X-ray[J].Acta Photonica Sinica,2011,40(1). |
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| Authors: | WU He-yun WU Yong-gang WANG Zhen-hua LU Gang LING Lei-jie XIA Zi-huan CHEN Nai-bo |
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| Institution: | WU He-yun,WU Yong-gang,WANG Zhen-hua,LU Gang,LING Lei-jie,XIA Zi-huan,CHEN Nai-bo(Physics Department,Tongji University,Shanghai 200092,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Self-supported thin film Extreme Ultra Violet(EUV) Release agent Magnetron sputtering Synchrotron radiation |
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