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| 激光干涉条纹特征提取及定中测量技术研究 | |
| 引用本文： | 高铭锷,袁鹤,徐敏,王军华,崔海龙.激光干涉条纹特征提取及定中测量技术研究[J].光子学报,2022(2):303-310. |
| 作者姓名： | 高铭锷 袁鹤 徐敏 王军华 崔海龙 |
| 摘 要： | 针对不透明非球面壳体翻转法测量厚度时,被测件翻转前后需要严格控制定中精度的问题,提出一种基于激光干涉的非接触定中测量技术.配合高精度中空气浮转台、调心调平机构,设计并搭建了一套双向激光干涉定中装置,分别采集翻转前后内外表面不同运动姿态的干涉图,并实时分析其动态特征.基于现代光电探测技术,提出对激光干涉条纹进行实时特征提... |
| 关 键 词： | 干涉测量 特征提取 动态特征 实时分析 厚度测量 |