涂层的辉光放电光谱分析及精密度

本文研究了辉光放电光源的基本特性并应用到涂层表层的组成分析,分析结果和电子探针的结果相一致,证明本方法可靠。辉光放电光源分析的精确度比火花光源有显著的提高,如配用光量计,可进行高含量元素的分析。