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强激光装置中玻璃疵病在线检测的光学系统设计
作者姓名:董卫斌  张敏  达争尚  陈良益  董晓娜  何俊华
作者单位:中国科学院西安光学精密机械研究所,先进光学仪器研究室,西安,710119;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院西安光学精密机械研究所,先进光学仪器研究室,西安,710119
基金项目:国家高技术惯性约束领域项目(051Z331BOA)资助
摘    要:介绍了一种用于玻璃疵病在线检测的近摄工作距成像光学系统,其光组结构形式采用了光阑后置的准远心结构形式,主要光学参量为f′=14mm;在物像距为250mm约束条件下,物方视场达到90mm(对角线);F/number=3.56;光谱适应范围为400~800nm,对应的空间分辨率为100lp/mm时,调制传递函数大于0.29.

关 键 词:光学测量  玻璃瑕疵检测  光学设计  平场像
收稿时间:2007-10-25
修稿时间:2007-12-05
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