摘 要: | 微电子学系有着源远流长的学术渊源,发展历史可以追溯到1956年由著名物理学家黄昆院士领导、在北大物理系创建的我国第一个半导体物理专业。半个世纪以来,微电子学专业及其前身北大半导体物理专业在中国微电子技术的发展过程中发挥了重要作用,是我国微电子领域培养高级人才和科研开发的重要基地。19 77年我国第一块1KMOSDRAM即诞生于北京大学,2 0 0 1年微电子学与固体电子学学科又被评为国家重点学科。微电子学系具有良好的人才培养与科学研究的先进设施,现在拥有3个国家或部委重点实验室:微米 纳米加工技术国家级重点实验室、新工艺新…
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