| 高温超导多层薄膜布图布线技术 |
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| 引用本文： | 王殿生,张正平.高温超导多层薄膜布图布线技术[J].贵州科学,2000,18(4):241-248. |
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| 作者姓名： | 王殿生 张正平 |
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| 作者单位： | 贵州大学物理与电子科学系,贵州贵阳 |
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| 基金项目： | 贵州省自然科学基金资助项目!( 9930 33) |
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| 摘 要： | 本文简要地回顾了超导发展和应用的历史，概述了高温超导薄膜的制备工艺及其进展。对高温超导多层ＹＢＣＯ薄膜布图布线技术进行了综述，重点介绍了高温超导多层薄膜布图布线技术中的刻蚀法、激光退火法、水汽退火法和涂敷化学试剂法的基本原理、工艺特点和最新发展情况，其中包括了我们研究ＹＢＣＯ超导薄膜水汽退火布图技术的初步结果。
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| 关 键 词： | 高温超导薄膜 布图布线 水气退火法 制备工艺 |
Pattering technique for multi-layer high temperature superconducting films |
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| WANG Dian Sheng,ZHANG Zheng Ping,FU Xing Hua,YANG Jian.Pattering technique for multi-layer high temperature superconducting films[J].Guizhou Science,2000,18(4):241-248. |
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| Authors: | WANG Dian Sheng ZHANG Zheng Ping FU Xing Hua YANG Jian |
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| Abstract: | In this paper, the history of superconductors and their applications are concisely reviewed. Patterning techniques for multi-layer high temperature superconducting films, including photolithography, laser writing, water vapor annealing and chemical reagent coating, are presented in detail. |
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| Keywords: | high temperature superconducting thin film oxygen content multi layer patterning |
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