扫描电声显微镜成像技术研究 |
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引用本文: | 高椿明,张淑仪,张仲宁,水修基,方健文.扫描电声显微镜成像技术研究[J].电子显微学报,2003,22(6):643-644. |
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作者姓名: | 高椿明 张淑仪 张仲宁 水修基 方健文 |
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作者单位: | 1. 南京大学近代声学国家重点实验室,江苏,南京,210093 2. 浙江师范大学物理系,浙江,金华,321004 |
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摘 要: | 扫描电声显微镜(scannmg electron acoustic microscoPe)问世以来,作为一种新的显微成像手段,在众多的材料研究领域得到了广泛的应用,并日益显露其独特的成像本领。为此,我们对原建立的SEAM系统,通过增强电子束流强度和改善调制电路,使得系统的信噪比和空间分辨率大为提高。
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关 键 词: | 扫描电声显微镜 成像技术 成像本领 SEAM系统 电子束流强度 调制电路 信噪比 空间分辨率 |
Study on imaging technology of scanning electron acoustic microscope |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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