基于干法转移的柔性碳纳米管射频晶体管器件 |
| |
引用本文: | 严可杨扬霍帅张勇王元李忠辉.基于干法转移的柔性碳纳米管射频晶体管器件[J].固体电子学研究与进展,2022(3):F0003-F0003. |
| |
作者姓名: | 严可杨扬霍帅张勇王元李忠辉 |
| |
作者单位: | 1.中国电科碳基电子重点实验室210016; |
| |
摘 要: | 半导体型碳纳米管(CNT)作为准一维新型材料,兼具高迁移率、高柔性和高导热等特性,具有创新应用潜力,例如可在柔性电子主流衬底材料上实现高性能射频器件,提供信号无线收发功能,填补当前技术空白。南京电子器件研究所针对新兴的碳纳米管薄膜材料,突破低维材料常用的湿法转移方法带来的局限,以避免转移过程中薄膜应力不均匀导致的褶皱、破损以及电学性能严重退化等问题,利用不同材料界面间范德华力的差异,开发了碳纳米管薄膜干法转移方法。
|
关 键 词: | 碳纳米管薄膜 低维材料 材料界面 新型材料 准一维 柔性电子 范德华力 衬底材料 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|