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| 用微处理机逐点处理法快速测定τ_g的分布和S_g的变化 | |
| 引用本文： | 张德明 ,丘思畴 ,丘沐钦 ,谢基凡.用微处理机逐点处理法快速测定τ_g的分布和S_g的变化[J].华中科技大学学报(自然科学版),1984(4). |
| 作者姓名： | 张德明 丘思畴 丘沐钦 谢基凡 |
| 摘 要： | 本文利用线性电压扫描法,对MOS电容的c-t曲线进行逐点处理,得到了τ_g-t、s_g-t下的曲线.由τ_g-t的曲线可以方便地找出τ_g-x的分布.这种方法不仅能将s_g与τ_g分离出来,而且能一次测得τ_g随深度x的变化而变化的关系,以及s_g随表面势变化而变化的讯息. |
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