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ZnS∶TbF_3薄膜电致发光器件性能的研究
引用本文:何大伟,杨胜,王永生,徐叙瑢.ZnS∶TbF_3薄膜电致发光器件性能的研究[J].中国稀土学报,2001,19(6).
作者姓名:何大伟  杨胜  王永生  徐叙瑢
作者单位:北方交通大学光电子技术研究所,
基金项目:国家自然科学基金 (5 9982 0 0 1),北京市自然科学基金 (4 0 12 0 10 )资助项目
摘    要:用射频磁控溅射和扫描电子束蒸发方法研究制备了ZnS∶TbF3薄膜的交流电致发光器件。研究了制备ZnS∶TbF3薄膜电致发光器件的几种因素对电致发光器件性能的影响 ,诸如 ,磁控溅射过程中衬底温度 ,发光层厚度 ,退火等。

关 键 词:稀土  电致发光  磁控溅射  电子束蒸发
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