ZnS∶TbF_3薄膜电致发光器件性能的研究 |
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引用本文: | 何大伟,杨胜,王永生,徐叙瑢.ZnS∶TbF_3薄膜电致发光器件性能的研究[J].中国稀土学报,2001,19(6). |
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作者姓名: | 何大伟 杨胜 王永生 徐叙瑢 |
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作者单位: | 北方交通大学光电子技术研究所, |
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基金项目: | 国家自然科学基金 (5 9982 0 0 1),北京市自然科学基金 (4 0 12 0 10 )资助项目 |
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摘 要: | 用射频磁控溅射和扫描电子束蒸发方法研究制备了ZnS∶TbF3薄膜的交流电致发光器件。研究了制备ZnS∶TbF3薄膜电致发光器件的几种因素对电致发光器件性能的影响 ,诸如 ,磁控溅射过程中衬底温度 ,发光层厚度 ,退火等。
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关 键 词: | 稀土 电致发光 磁控溅射 电子束蒸发 |
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