| 一种新型电容式压力传感器 |
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| 引用本文： | 黄晓东,黄见秋,秦明,黄庆安. 一种新型电容式压力传感器[J]. 半导体学报, 2008, 29(3): 428-432 |
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| 作者姓名： | 黄晓东 黄见秋 秦明 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种新的电容式压力传感器.传感器结构为由Al/SiO2/n-type Si等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂键合的方式制造,制造过程仅需三块掩模板.对不同边长传感器进行测试,在410～1010hPa的动态范围,边长为1000,1200和1400靘的压力传感器,相应灵敏度分别为1.8,2.3和3.6fF/hPa.边长为1500靘的传感器,其灵敏度为4.6fF/hPa,全程非线性度为6.4%,最大滞回误差为3.6%.分析结果表明介电常数变化是引起电容变化的主要原因.
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| 关 键 词： | 电容式压力传感器 电致伸缩 pn结自停止腐蚀 粘结剂键合 线性度 capacitive pressure senor electrostriction pn junction self-stop etching adhesive bonding linearity |
| 文章编号： | 0253-4177(2008)03-0428-05 |
| 收稿时间： | 2007-09-01 |
| 修稿时间： | 2007-11-09 |
A Novel Capacitive Pressure Sensor |
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| Huang Xiaodong,Huang Jianqiu,Qin Ming,Huang Qing''''an. A Novel Capacitive Pressure Sensor[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2008, 29(3): 428-432 |
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| Authors: | Huang Xiaodong Huang Jianqiu Qin Ming Huang Qing''''an |
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| Affiliation: | Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education,Southeast University,Nanjing 210096,China;Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education,Southeast University,Nanjing 210096,China;Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education,Southeast University,Nanjing 210096,China;Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education,Southeast University,Nanjing 210096,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitive pressure senor electrostriction pn junction self-stop etching adhesive bonding linearity |
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