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| 全自动涂胶设备及涂胶工艺的研究 | |
| 引用本文： | 艾博,周占福,吕磊.全自动涂胶设备及涂胶工艺的研究[J].电子工业专用设备,2019,48(3):56-59. |
| 作者姓名： | 艾博 周占福 吕磊 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176 |
| 摘 要： | 涂胶作为光刻工艺的重要环节,为了保证涂胶工艺质量,提高涂胶设备的自动化程度,减少中间污染环节,开发了一种全自动涂胶设备,通过对涂胶腔体和机械手等关键部件的改进,更好地满足了用户生产线要求;并通过对涂胶工艺中影响膜厚均匀性的重要因素进行研究、实验和分析,得出了适合用户生产线的工艺配方。 |
| 关 键 词： | 涂胶腔体 机械手 涂胶工艺 |
Research of Equipment and Coating Process by Automatic Spin-Coater |
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