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| 高性能可变电容加速度计 | |
| 引用本文： | Wiln.,LB 刘荣贵.高性能可变电容加速度计[J].压电与声光,1990,12(1):66-69. |
| 作者姓名： | Wiln. LB 刘荣贵 |
| 摘 要： | 本文介绍一种采用硅微加工技术制作的可变电容式加速度传感器.传感器采用了中位面、平面片悬置,气体阻尼和过量程止动.传感器由三块硅基片制成,硅基片采用了阳极粘合技术粘到硅酸盐玻璃镶嵌物上.典型的传感器有效电容为7pF,修正电容为3pF,响应为0.05pF/G,谐振频率为3.4kHz,阻尼临界值为0.7.采用这种传感器的加速度计具有极好的灵敏度和带宽,以及显著的耐冲击性能. |
| 关 键 词： | 可变电容 加速度计 传感器 |
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