| YSi_2纳米颗粒的制备及光学、电学性能研究 |
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| 引用本文： | 黄立娟,王磊,杜军.YSi_2纳米颗粒的制备及光学、电学性能研究[J].中国稀土学报,2010,28(3). |
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| 作者姓名： | 黄立娟 王磊 杜军 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院先进电子材料研究所,北京,100088 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目，国家自然科学基金青年科学基金，北京有色金属研究总院创新技术基金 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光烧蚀高纯YSi2靶,在n型Si(100)单晶衬底上制备YSi2纳米颗粒。原子力显微镜(AFM)观察样品表面颗粒尺寸约40~50 nm。X射线光电子能谱(XPS)测试结果表明,YSi2纳米颗粒成分为Y-O-Si。室温下对样品的光致发光(PL)性能进行测试,在500 nm处有一个较大的宽峰,409 nm附近出现强度较弱的发光峰。前者与样品中Y-O-Si电荷迁移带有关,后者为衬底表面纳米尺寸SiOx复合中心离子发光。室温下,对原位制备的薄膜电学(I-V/C-V)性能进行测试,结果表明薄膜的介电常数约为13.6。
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| 关 键 词： | 纳米颗粒 脉冲激光烧蚀 光致发光 稀土 |
Preparation, Electrical and Optical Characterization of YSi2 Nanoparticles |
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| Huang Lijuan,Wang Lei,Du Jun.Preparation, Electrical and Optical Characterization of YSi2 Nanoparticles[J].Journal of the Chinese Rare Earth Society,2010,28(3). |
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| Authors: | Huang Lijuan Wang Lei Du Jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | YSi2 I-V/C-V |
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