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化学气相传输法大尺寸ZnO单晶生长模式控制
引用本文:赵有文,董志远,魏学成,李晋闽. 化学气相传输法大尺寸ZnO单晶生长模式控制[J]. 半导体学报, 2007, 28(Z1)
作者姓名:赵有文  董志远  魏学成  李晋闽
作者单位:中国科学院半导体研究所,北京,100083
摘    要:借助传输剂的作用,化学气相传输法(CVT)ZnO单晶生长过程具有足够高的组分过饱和蒸气压,因而具有很强的生长驱动力.控制单晶的成核和生长模式成为获得大尺寸ZnO单晶的关键.对不同条件下CVT法ZnO单晶生长的实验现象、晶体表面形貌和晶体质量进行了研究分析,给出了晶体生长模式与生长温度、化学配比等条件的关系.并在此基础上实现了ZnO单晶的二维成核生长模式的控制,获得厚度均匀、单一晶向的高质量大尺寸ZnO单晶.

关 键 词:ZnO  化学气相传输  生长模式  二维成核

Growth Mode Control of Large Size ZnO Single Crystal Growth Through Chemical Vapor Transport
Zhao Youwen,Dong Zhiyuan,Wei Xuecheng,Li Jinmin. Growth Mode Control of Large Size ZnO Single Crystal Growth Through Chemical Vapor Transport[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2007, 28(Z1)
Authors:Zhao Youwen  Dong Zhiyuan  Wei Xuecheng  Li Jinmin
Abstract:
Keywords:
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