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迈克耳孙干涉原理的位移测量技术

摘要：	本文介绍了一种基于迈克耳孙干涉技术的位移测量系统,给出了系统的组成、工作原理及理论依据;采用条纹细分、激光稳频、公式修正减少了可能的误差来源;用角锥棱镜取代平面镜,及平衡电桥电路设计和相敏检波技术,有效地提高了系统的抗干扰性和稳定性;具有光路简单、精确度高、成本低的特点,有一定的应用前景和学术参考价值.
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