| 离子注入结合离子交换技术制备KTiOPO_4光波导特性研究 |
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| 引用本文： | 王晓梅,卢霏,明宪兵.离子注入结合离子交换技术制备KTiOPO_4光波导特性研究[J].光子学报,2010,39(4). |
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| 作者姓名： | 王晓梅 卢霏 明宪兵 |
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| 作者单位： | 山东大学,信息科学与工程学院,济南,250100 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研基金 |
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| 摘 要： | 用离子注入结合离子交换技术形成了KTiOPO4平面光波导,研究了离子注入对离子交换波导结构的影响.使用棱镜耦合法测量了波导特性,结果显示形成了表面折射率升高的多模波导,通过背散射技术研究了离子交换后的Rb离子分布.实验表明,注入离子导致样品晶格损伤,在2.8μm处对离子交换形成了阻挡层,阻止了交换向KTP晶体的更深处进行.
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| 关 键 词： | 光波导 离子注入 离子交换 KTiOPO4晶体 |
Characterization of Optical Waveguide in KTiOPO4 Formed by Combining Ion Implantation with Ion Exchange |
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| WANG Xiao-mei,LU Fei,MING Xian-bing.Characterization of Optical Waveguide in KTiOPO4 Formed by Combining Ion Implantation with Ion Exchange[J].Acta Photonica Sinica,2010,39(4). |
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| Authors: | WANG Xiao-mei LU Fei MING Xian-bing |
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