| 基于SLM 的三维图像激光光刻系统的研制 |
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| 引用本文： | 陈林森,解剑锋,沈,雁,汪振华,陆志伟.基于SLM 的三维图像激光光刻系统的研制[J].激光与红外,2003,33(5):367-370. |
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| 作者姓名： | 陈林森 解剑锋 沈 雁 汪振华 陆志伟 |
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| 作者单位： | 苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州,215006 |
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| 基金项目： | 教育部跨世纪人才基金的支持 |
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| 摘 要： | 文中提出采用空间光调制器进行子图输入、用激光干涉成像光学头产生干涉条纹的方法来实现3D图像或光学可变图像的制作，研制了大幅面3D图像激光光刻系统，光变图像分辨率可达5080dpi，平均运行效率达8000dots／s(1270pdpi)以上。给出了实验结果。
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| 关 键 词： | 3D图像 干涉 光学头 空间光调制器 SLM 三维图像 激光光刻 激光全息照相 |
| 文章编号： | 1001-5078(2003)05-0367-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月6日 |
Fabrication of 3D Image Laser Printing System with SLM |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 3D image interference optical head SML |
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