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| 氮化硅和氮氧化硅在俄歇电子谱分析中的电子束和离子束辐射效应 | |
| 引用本文： | 陈维德 Bender,H.氮化硅和氮氧化硅在俄歇电子谱分析中的电子束和离子束辐射效应[J].半导体学报,1990,11(6):441-447. |
| 作者姓名： | 陈维德 Bender H |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 俄歇电子谱 氮化硅 氮氧化硅 辐照 |
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