亚舍立科技公司主办解决200mm工艺难题之先进技术研讨会 |
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摘 要: | 亚舍立科技公司于2003.11.18日在上海金茂君悦大酒店举办了解决2001mm工艺难题之先进技术研讨会,来自上海复旦大学、亚舍立科技的教授、专家就“纳米级CMOS工艺之新材料、结构和加工技术”,“低介质及铜材料去胶清洗新工艺”,“在后段制程(BEOL)以减少湿法清洗的聚合物干法去除工艺”等进行了探讨。
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关 键 词: | 科技公司 先进技术 酒店 研讨会 难题 上海复旦大学 铜材 新工艺 纳米级 举办 |
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