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集成光学声光频谱分析器的制作技术
引用本文:周愈波,赵胜.集成光学声光频谱分析器的制作技术[J].发光学报,1997,18(2):143-147.
作者姓名:周愈波  赵胜
作者单位:中国科学院长春物理研究所, 长春 130021
摘    要:本文给出了集成光学声光频谱分析器的基本结构与工作原理.给出了集成光学芯片上各种集成光学元件和导波声光调制器的制作技术,并给出了组装一体化样机的结构工艺要点.

关 键 词:频谱分析  声光调制
收稿时间:1996-09-09

THE FABRICATION TECHNOLOGY OF INTEGRATED OPTIC ACOUSTO OPTIC SPECTRUM ANALYZER(IOAOSA)
Zhou Yubo Zhao Sheng Li Yefan Lu Ping,Li Gongyu,Meng Shuhua Wang Shurong.THE FABRICATION TECHNOLOGY OF INTEGRATED OPTIC ACOUSTO OPTIC SPECTRUM ANALYZER(IOAOSA)[J].Chinese Journal of Luminescence,1997,18(2):143-147.
Authors:Zhou Yubo Zhao Sheng Li Yefan Lu Ping  Li Gongyu  Meng Shuhua Wang Shurong
Institution:Changchun Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130021
Abstract:In this paper, the basic constructure and working theory of IOAOSA were given. We presented the fabrication technology of integrated optical components and guided wave acousto optical modulator on integrated chip and we also presented the technological main points of making an organic whole sample.
Keywords:spectrum analyze  acousto  optic modulate
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