首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部专业
化学
晶体学
力学
数学
物理学
学报及综合类
按
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目英文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
检索
Study on nitridation processes of β-Ga2O3 single crystal
Authors:
Xing Li
Changtai Xia
Xiaoli He
Guangqing Pei
Jungang Zhang
Jun Xu
Abstract:
Nitridated /3-Ga2Os (100) substrate was investigated as the substrate for CaN epitaxial growth.The effects of nitridation temperature and surface roughness of -Ga2O3 wafers on the formation of CaN were studied.
Keywords:
processes
nitridation
Study
effects
temperature
surface roughness
formation
substrate
epitaxial growth
本文献已被
万方数据
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号