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| 氮对溅射TiC膜在钢基体上附着力的影响 | |
| 作者姓名： | 戚震中 王玉琦 姚伟国 贾俊辉 朱勇 |
| 作者单位： | 中国科学院固体物理研究所 合肥(戚震中，王玉琦，姚伟国，贾俊辉)，中国科学院固体物理研究所 合肥(朱勇) |
| 摘 要： | 作者研究了溅射过程中在辉光等离子体内导入氮对溅射TiC膜在钢基体上附着力的影响。采用自制划痕仪测定了膜的附着力,並用俄歇谱仪研究了膜与基体的界面。结果表明,反应气体N_2能够促使形成一个渐变的过渡界面,从而改善了TiC膜在钢基体上的附着力。本文还讨论了辉光等离子体与基体表面的相互作用。 |
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