倾斜计算全息板标定补偿器误差EI北大核心CSCD |
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引用本文: | 朱德燕,李明,薛栋林,张学军.倾斜计算全息板标定补偿器误差EI北大核心CSCD[J].光学学报,2015(4):160-166. |
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作者姓名: | 朱德燕 李明 薛栋林 张学军 |
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作者单位: | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室130033;2.中国科学院大学100049; |
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基金项目: | 国家973计划(2011CB013205);国家自然科学基金(61210015) |
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摘 要: | 为了标定利用补偿器检测非球面的精度,提出采用倾斜计算全息法(CGH)校验补偿器,并将补偿器精度提高。介绍补偿器检测离轴非球面基本原理,同时结合工程实例,设计补偿器检测860 mm×600 mm的离轴高次非球面,通过加工与装配,仿真分析出装配后的补偿器精度为2.91 nm均方根(RMS)值]。设计了利用倾斜式的计算全息板检测该补偿器的实验,并分析出利用该CGH校验补偿器的精度为1.79 nm(RMS值)。结果表明,受限于补偿器光学元件加工和组装精度,其检测精度未知,通过对补偿器误差进行检测与标定,可以确定利用该补偿器检测非球面的可行性并将其精度提高。
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关 键 词: | 测量 计算全息法 补偿器 离轴非球面 光学检测 精度分析 |
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